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簡(jiǎn)要描述:大平臺(tái)微分干涉金相顯微鏡 DMM-1200C,可對(duì)半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、太陽(yáng)能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級(jí)工業(yè)金相顯微鏡使用;可進(jìn)行明場(chǎng)觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)太陽(yáng)能電池硅片、半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、電路基板、FPD、精密模具的檢測(cè)分析。
產(chǎn)品分類
詳細(xì)介紹
一、 DMM-1200C型微分干涉金相顯微鏡的主要用途和特點(diǎn):
DMM-1200微分干涉金相顯微鏡(DIC)采用優(yōu)質(zhì)的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),微分干涉相襯顯微鏡適用于對(duì)多種物體的顯微觀察。配置落射DIC觀察系統(tǒng)與透射照明系統(tǒng)、無限遠(yuǎn)長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡和偏光觀察裝置,具有圖像立體感且清晰、造型美觀,操作方便等特點(diǎn),是生物學(xué)、金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子學(xué)等研究的理想儀器,可選用微分干涉(DIC)觀測(cè)、獲得高清晰的圖像,使圖像襯度更好,是針對(duì)半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、太陽(yáng)能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級(jí)工業(yè)金相顯微鏡使用;可進(jìn)行明場(chǎng)觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)太陽(yáng)能電池硅片、半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、電路基板、FPD、精密模具的檢測(cè)分析。
DMM-1200C電腦型微分干涉金相顯微鏡是將光學(xué)顯微鏡技術(shù)、光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、計(jì)算機(jī)成像技術(shù)結(jié)合在一起而開發(fā)研制成功的一項(xiàng)高科技產(chǎn)品。既可人工觀察金相圖像,又可以在計(jì)算機(jī)上很方便地適時(shí)觀察金相圖像,并可隨時(shí)拍攝記錄金相圖片,從而對(duì)金相圖譜進(jìn)行分析,評(píng)級(jí)等,還可以保存或打印出高像素金相照片。
二、微分干涉金相顯微鏡儀器的主要技術(shù)指標(biāo):
名稱 | 參數(shù)規(guī)格 | ||
目鏡筒 | 三目觀察筒,鉸鏈?zhǔn)?,傾斜30度,分光比:觀察80% 攝影20%;或觀察100% 攝影100% | ||
目鏡 | 大視野 | WF10X(Φ22mm) | |
WF20X(Φ12mm) | |||
平場(chǎng)分劃 | 10X/Φ20mm(0.10mm/格值) | ||
物鏡 | 無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差 | 放大倍數(shù)/數(shù)值孔徑 | 有效工作距離 |
PL5X/0.12 | 26.1mm | ||
PLL10X/0.25 | 20.2mm | ||
PLL20X/0.4 | 8.8mm | ||
PLL40X/0.6 | 3.98mm | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 五孔物鏡轉(zhuǎn)換器(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位) | ||
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 同軸粗微動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu),帶鎖緊和限位裝置, 調(diào)焦范圍30mm 微動(dòng)格值0.8μm | ||
載物臺(tái) | 臺(tái)面尺寸:280mm*270mm; | ||
| 移動(dòng)范圍:橫向(X)204mm,縱向(Y)204mm | ||
濾片組 | 全系列濾色片 | ||
照明系統(tǒng) | 落射照明12V/50W,鹵素?zé)?,中心、亮度連續(xù)可調(diào) | ||
透射照明大功率LED燈照明,亮度可調(diào),阿貝聚光鏡 NA.1.25 可上下升降,藍(lán)濾色片和磨砂玻璃,集光器(內(nèi)置視場(chǎng)光欄) | |||
偏光裝置 | 起偏振器,可360度旋轉(zhuǎn),可推拉切換 | ||
檢偏振器,可推拉切換 | |||
微分干涉觀察 | 可使用于5X、10X、20X | ||
電腦型攝像系統(tǒng) CK-500 | CK-500彩色攝像機(jī): 分辨率:2560×1920,功耗小,連接簡(jiǎn)單:USB接口, 圖像質(zhì)量好 ,色彩還原性好 ,圖像穩(wěn)定,所有攝像機(jī)均經(jīng)過長(zhǎng)時(shí)間測(cè)試 ,體積小,安裝方便,采集方式:連續(xù)采集,圖像大小可調(diào),增益調(diào)節(jié),曝光時(shí)間調(diào)整,增益調(diào)。 |
三、系統(tǒng)的組成 :
1、微分干涉金相顯微鏡DMM-1200 2、攝像機(jī)接口
3、彩色數(shù)字?jǐn)z像機(jī)CK-500 4、計(jì)算機(jī)(選購(gòu))
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