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簡要描述:DJM-300系列太陽能硅片檢測顯微鏡,選用優(yōu)質的光學元件,配有超大視場目鏡、落射照明器、平場長工作距離明暗場物鏡,是針對半導體晶圓檢測、太陽能硅片制造業(yè)、電子信息產業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級工業(yè)金相顯微鏡使用???/p>
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一、DJM-300C太陽能硅片檢測顯微鏡的特點和用途:
DJM-300系列太陽能硅片檢測顯微鏡,選用優(yōu)質的光學元件,配有超大視場目鏡、落射照明器、平場長工作距離明暗場物鏡,是針對半導體晶圓檢測、太陽能硅片制造業(yè)、電子信息產業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級工業(yè)金相顯微鏡使用??蛇M行明暗場觀察、落射偏光、廣泛用于工廠、研究機構、高等院校對太陽能電池硅片、半導體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。系統(tǒng)配置了優(yōu)質無限遠光路系統(tǒng)、三目透反射顯微鏡DJM-300C、500萬高清晰數(shù)字攝像頭及圖像測量管理軟件,可對太陽能電池板圖像進行檢查、拍照、測量、編輯和保存輸出等多種操作。是太陽能電池硅片檢查的理想儀器。
性能特點:
1、采用了較先進的光學顯微鏡與現(xiàn)代成像分析融為一體的圖像測量技術。
2、可對太陽能電池硅片進行檢查、拍照、測量、保存、輸出等多種操作。
3、系統(tǒng)配置了優(yōu)質無限遠光路系統(tǒng)、大尺寸工作臺的三目透反射顯微鏡。
4、可以測量太陽能電池片裂紋長度,崩邊長度角度,印刷位移角度偏差。
5、可以測量主、副柵線,背電極的寬度、均勻度、柵線間距離及副柵線 到電池邊的距離,柵線、斷線長度,斷線缺損和變色的面積。
6、可以檢查太陽能電池表面顏色色差、絨面色斑亮斑,裂紋,崩邊,掉 角缺口,印刷偏移主副柵線、背電極的斷線,缺損,扭曲,變色等現(xiàn)象。
7、可對雜質、殘留物成分進行分析。雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等。
三、DJM-300C太陽能硅片檢測顯微鏡的參數(shù)及配置:
名 稱 | 參數(shù)規(guī)格 | |
觀察鏡筒 | 鉸鏈式三目觀察筒,30度傾斜,100%通光攝影。瞳距調節(jié)范圍:50-75mm,視度可調 | |
目鏡 | 大視野目鏡WF10X(Ф22mm) | |
大視野目鏡WF15X(Ф16mm) (選購) | ||
大視野目鏡WF20X(Ф12mm) (選購) | ||
WF10X(Ф22mm)大視野分劃目鏡(0.10mm/格) | ||
無限遠長工作距離平場消色差物鏡 | 明視場/暗視場金相物鏡 | PL L40X/0.60 BD 工作距離:3.0 mm |
微分干涉物鏡(DIC) | LMPlan5X/0.12 DIC 工作距離:18.2 mm | |
LMPlan10X/0.25DIC 工作距離:20.2 mm | ||
LMPlan20X/0.35DIC 工作距離:6.0mm | ||
調焦系統(tǒng) | 粗微動同軸調焦機構,微動格值:2μm,左調焦帶鎖緊裝置,右調焦帶限位裝置 | |
載物臺 | 雙層機械式移動載物臺,外形尺寸:210mmX140mm,移動范圍75mmX50mm. | |
載物板 | 透光玻璃載物板,大?。?/span>97*76mm | |
轉換器 | 五孔內彎式物鏡轉換器(滾珠內定位) | |
偏光裝置 | 插入式起偏、檢偏裝置,可360度旋轉檢偏鏡,起偏和檢偏均可移出光路 | |
DIC調節(jié)系統(tǒng) | 適用于 LMPlan5X/LMPlan10X/LMPlan20X DIC物鏡 | |
暗場裝置 | 推拉式暗場觀察拉桿,快速明視場暗視場觀察轉換 | |
落射照明系統(tǒng) | 12V50W鹵素燈,亮度可調 | |
落射式柯勒照明系統(tǒng),內置視場光欄,孔徑光欄調節(jié) | ||
可拆卸式燈箱,雙引腳插入式燈座,燈箱外有燈絲位置移動旋鈕 | ||
轉盤式藍、黃、綠、磨砂濾色片組 | ||
透射照明系統(tǒng) | 12V30W 鹵素燈,亮度可調 | |
阿貝聚光鏡NA.1.25,可調孔徑光欄,中心可調,可上下升降 | ||
集光器:可調視場光欄 | ||
藍色和磨砂玻璃濾色片 | ||
電腦攝像系統(tǒng) | CK-500彩色攝像機: 分辨率:2560×1920,功耗小,連接簡單:USB接口, 圖像質量好 ,色彩還原性好 ,圖像穩(wěn)定,所有攝像機均經過長時間測試 ,體積小,安裝方便,采集方式:連續(xù)采集,圖像大小可調,增益調節(jié),曝光時間調整,增益調。 |
四、DJM-300C太陽能硅片檢測顯微鏡系統(tǒng)的組成 :
1、微分干涉顯微鏡 2、攝像機接口
3、彩色數(shù)字攝像機CK-500 4、計算機(選購)
五、儀器選購件:
1、無限遠長距平場消色差明暗場物鏡: PLL50X; PLL60X ;PLL80X;PL100X
2、攝影接口:0.5X攝像接口
3、攝像機: CK-1600像素攝像機,進口CCD芯片攝像系統(tǒng)
4、數(shù)碼相機拍照系統(tǒng):包含數(shù)碼相機及專業(yè)相機接口
5、金相分析軟件DM-3000
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