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太陽能硅片檢測顯微鏡DJM-300C

簡要描述:DJM-300系列太陽能硅片檢測顯微鏡,選用優(yōu)質的光學元件,配有超大視場目鏡、落射照明器、平場長工作距離明暗場物鏡,是針對半導體晶圓檢測、太陽能硅片制造業(yè)、電子信息產業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級工業(yè)金相顯微鏡使用???/p>

  • 產品型號:DJM-300C
  • 產品產地:
  • 更新時間:2024-05-17
  • 訪  問  量:2361

詳細介紹

 
一、DJM-300C太陽能硅片檢測顯微鏡的特點和用途: 
          DJM-300系列太陽能硅片檢測顯微鏡,選用優(yōu)質的光學元件,配有超大視場目鏡、落射照明器、平場長工作距離明暗場物鏡,是針對半導體晶圓檢測、太陽能硅片制造業(yè)、電子信息產業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級工業(yè)金相顯微鏡使用??蛇M行明暗場觀察、落射偏光、廣泛用于工廠、研究機構、高等院校對太陽能電池硅片、半導體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。系統(tǒng)配置了優(yōu)質無限遠光路系統(tǒng)、三目透反射顯微鏡DJM-300C、500萬高清晰數(shù)字攝像頭及圖像測量管理軟件,可對太陽能電池板圖像進行檢查、拍照、測量、編輯和保存輸出等多種操作。是太陽能電池硅片檢查的理想儀器。

性能特點:

1、采用了較先進的光學顯微鏡與現(xiàn)代成像分析融為一體的圖像測量技術。

2、可對太陽能電池硅片進行檢查、拍照、測量、保存、輸出等多種操作。

3、系統(tǒng)配置了優(yōu)質無限遠光路系統(tǒng)、大尺寸工作臺的三目透反射顯微鏡。

4、可以測量太陽能電池片裂紋長度,崩邊長度角度,印刷位移角度偏差。

5、可以測量主、副柵線,背電極的寬度、均勻度、柵線間距離及副柵線 到電池邊的距離,柵線、斷線長度,斷線缺損和變色的面積。

6、可以檢查太陽能電池表面顏色色差、絨面色斑亮斑,裂紋,崩邊,掉 角缺口,印刷偏移主副柵線、背電極的斷線,缺損,扭曲,變色等現(xiàn)象。

7、可對雜質、殘留物成分進行分析。雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等。


三、DJM-300C太陽能硅片檢測顯微鏡的參數(shù)及配置:

 稱

參數(shù)規(guī)格

觀察鏡筒

鉸鏈式三目觀察筒,30度傾斜,100%通光攝影。瞳距調節(jié)范圍:50-75mm,視度可調

目鏡

大視野目鏡WF10X(Ф22mm)    

大視野目鏡WF15X(Ф16mm)  (選購)

大視野目鏡WF20X(Ф12mm) (選購)

WF10X(Ф22mm)大視野分劃目鏡(0.10mm/格)

無限遠長工作距離平場消色差物鏡

明視場/暗視場金相物鏡

PL L40X/0.60 BD 工作距離:3.0 mm

微分干涉物鏡(DIC)

LMPlan5X/0.12 DIC 工作距離:18.2 mm

LMPlan10X/0.25DIC 工作距離:20.2 mm

LMPlan20X/0.35DIC 工作距離:6.0mm

調焦系統(tǒng)

粗微動同軸調焦機構,微動格值:2μm,左調焦帶鎖緊裝置,右調焦帶限位裝置

載物臺

雙層機械式移動載物臺,外形尺寸:210mmX140mm,移動范圍75mmX50mm.

載物板

透光玻璃載物板,大?。?/span>97*76mm

轉換器

五孔內彎式物鏡轉換器(滾珠內定位)

偏光裝置

插入式起偏、檢偏裝置,可360度旋轉檢偏鏡,起偏和檢偏均可移出光路

DIC調節(jié)系統(tǒng)

適用于 LMPlan5X/LMPlan10X/LMPlan20X  DIC物鏡

暗場裝置

推拉式暗場觀察拉桿,快速明視場暗視場觀察轉換

落射照明系統(tǒng)

12V50W鹵素燈,亮度可調

落射式柯勒照明系統(tǒng),內置視場光欄,孔徑光欄調節(jié)

可拆卸式燈箱,雙引腳插入式燈座,燈箱外有燈絲位置移動旋鈕

轉盤式藍、黃、綠、磨砂濾色片組

透射照明系統(tǒng)

12V30W 鹵素燈,亮度可調

阿貝聚光鏡NA.1.25,可調孔徑光欄,中心可調,可上下升降

集光器:可調視場光欄

藍色和磨砂玻璃濾色片

電腦攝像系統(tǒng)

CK-500彩色攝像機: 分辨率:2560×1920,功耗小,連接簡單:USB接口, 圖像質量好 ,色彩還原性好 ,圖像穩(wěn)定,所有攝像機均經過長時間測試 ,體積小,安裝方便,采集方式:連續(xù)采集,圖像大小可調,增益調節(jié),曝光時間調整,增益調。

四、DJM-300C太陽能硅片檢測顯微鏡系統(tǒng)的組成 

           1、微分干涉顯微鏡                  2、攝像機接口

 3、彩色數(shù)字攝像CK-500             4、計算機(選購)

 

五、儀器選購件:

1、無限遠長距平場消色差明暗場物鏡: PLL50X; PLL60X ;PLL80X;PL100X

2、攝影接口:0.5X攝像接口

3、攝像機: CK-1600像素攝像機,進口CCD芯片攝像系統(tǒng)

4、數(shù)碼相機拍照系統(tǒng):包含數(shù)碼相機及專業(yè)相機接口

5、金相分析軟件DM-3000





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